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無(wú)塵室(clean room) 東莞潔凈室設(shè)計(jì),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、-等之污染物排除 惠州潔凈室施工,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予-設(shè)計(jì)之房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的-。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于-,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1k級(jí)別。
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