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-當渦輪分子泵關閉或運轉(zhuǎn)極慢時,泵將不再有足夠大的壓縮比(泵內(nèi)壓力梯度)來阻止前級側存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴散或分子返流。在靜態(tài)條件下,整個系統(tǒng)的壓力均衡時,在前級管道側, 油的分壓力通常為10- 4 ~10- 6 torr ( 或13.33mpa~133.3 pa)-也會波及到泵的入口處。當泵關閉時,適當?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流,保持真空室內(nèi)無碳氫化合物的一種有效的措施。
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