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任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點(diǎn)。 (1) 設(shè)備費(fèi)用高   在抽速大于1000 l/s 的渦輪分子泵要比擴(kuò)散泵和低溫泵的設(shè)備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴(kuò)散泵和低溫泵的特殊場合下它是很-的。若與小型或中型擴(kuò)散泵相比 分子泵維修，小渦輪分子泵是相當(dāng)貴的。然而考慮到擴(kuò)散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等 分子泵維修供應(yīng)商，總的花費(fèi)來計(jì)算 分子泵維修，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。


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