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在復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)中,必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小 leyss分子泵維修安裝,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變,使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過(guò)渡級(jí)結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能。隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
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