edwards愛德華epx180l半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)

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應(yīng)用目標(biāo)應(yīng)用包括：負(fù)載鎖計(jì)量傳輸腔

灰化/剝離

PVD

愛德華EPX 180真空干泵

主要特性和優(yōu)勢

占地面積小且重量輕 - 作為可用的 小工具上泵之一，EPX節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造

使其重量輕巧，增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝

成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

受zhuanli保護(hù)的泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以抽空到 UHV 級基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓

力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有

高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度

地延長了泵的。

運(yùn)轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

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