半自動(dòng)硅片腐蝕清洗機(jī)-蘇州尚純

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設(shè)備用途：用來(lái)將4、5、6寸硅片化學(xué)腐蝕和清洗
控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式
項(xiàng)目 數(shù)據(jù)
基本規(guī)格 機(jī)臺(tái)封面：瓷白pp板材（厚度***10mm）or china sus板材（厚度***2mm）
機(jī)臺(tái)主體強(qiáng)度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理or china sus 矩形材
機(jī)臺(tái)視窗：透明、抗靜電透明pvc（厚度***5mm）or china 鋼化玻璃（厚度***2mm）
選配模塊 恒溫系統(tǒng)
溶劑循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)
超（兆）聲系統(tǒng)
水阻率檢測(cè)
cds補(bǔ)液
廢液回收
更全面的全自動(dòng)烘干系統(tǒng)
消防系統(tǒng)
可結(jié)合通訊-資料存儲(chǔ)、cim系統(tǒng)、資料分析存儲(chǔ)建立管理
純水節(jié)省功能
排風(fēng)系統(tǒng) 排風(fēng)-合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板，為了方便操作人員及時(shí)根據(jù)情況調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式排風(fēng)口再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)節(jié)進(jìn)氣模塊，從而達(dá)到使用效果
機(jī)臺(tái)特點(diǎn) 清洗工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液-了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性
qdr沖洗模塊非常見(jiàn)排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定
集成自動(dòng)干燥系統(tǒng)
管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等關(guān)鍵-部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品
保修便利，非庫(kù)存品工廠內(nèi)均建立安全庫(kù)存品
多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)
作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，-操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全
客制化設(shè)計(jì)能力佳，搞設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要
制程控制 plc控制方式
操作界面 全圖形化中文彩色人機(jī)界面（10.4彩屏）
槽體數(shù)量 根據(jù)制程要求選擇定制
設(shè)備制造 蘇州尚純半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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